Спеціальна молібденова мішень

· чистота

Висока чистота є основною характерною вимогою для спеціальної молібденової мішені. Ефективність напиленої плівки покращується зі збільшенням чистоти молібденової мішені. Чистота звичайних молібденових мішеней повинна бути щонайменше 99,95% (масова частка така ж, як нижче). Однак, оскільки розмір скляних підкладок у РК-індустрії продовжує збільшуватися, потрібно збільшити довжину проводів і зменшити ширину ліній. Щоб забезпечити однорідність плівки та якість проводки, вимоги до чистоти молібденових мішеней для напилення також були відповідно підвищені. Тому, залежно від розміру скляної підкладки для напилення та середовища використання, чистота молібденової мішені для напилення повинна становити 99,99%~99,999% або навіть вище. Молібденова мішень для розпилення служить джерелом катода при розпиленні. Основними джерелами забруднення осаджених плівок є домішки в твердому тілі, а також кисень і водяна пара в порах. Крім того, в електронній промисловості іони лужних металів (Na+.K+) легко стають рухомими іонами в ізоляційному шарі, знижуючи продуктивність компонентів; такі елементи, як уран (U) і титан (Ti), можуть випускати промені, викликаючи м’яку поломку пристрою; іони заліза та нікелю призведуть до витоку межі розділу та збільшення елементів кисню. Таким чином, під час процесу приготування спеціальної молібденової мішені ці домішки необхідно суворо контролювати, щоб мінімізувати їх вміст у мішені.

· Щільність

Під час процесу напилення покриття, коли менш щільна розпилювана мішень піддається бомбардуванню, газ у внутрішніх порах мішені раптово вивільняється, спричиняючи розбризкування частинок мішені чи частинок небесного розміру, або матеріал плівки піддається бомбардуванню вторинними електронами після плівки. формування. Частинки відлітають. Присутність цих частинок погіршує якість плівки. Щоб зменшити тверді сухі пори в матеріалі мішені та покращити характеристики плівки, матеріал мішені для розпилення, як правило, повинен мати вищу щільність. Для мішеней з конічним розпиленням їх відносна щільність повинна бути вище 98%.

· Прив'язка мішені та шасі

Спеціальна молібденова мішень повинна бути підключена до шасі з безкисневої міді (або алюмінію та інших матеріалів) перед напиленням, щоб мішень і шасі мали хорошу тепло- та електропровідність під час процесу напилення. Після зв’язування його необхідно пройти ультразвукову перевірку, щоб переконатися, що вони не з’єднані на 2%. Тільки таким чином він може відповідати вимогам природного напилення потужності, не відпадаючи.

· Розмір зерен і розподіл за розмірами

Зазвичай спеціальні молібденові мішені мають полікристалічну структуру, а розмір зерен може коливатися від мікронів до міліметрів. Експериментальні дослідження показують, що швидкість стрільби по мішенях з дрібним зерном вище, ніж по мішенях з крупним зерном; і мішені з меншою різницею розміру зерен, розподіл товщини нанесеної плівки також більш рівномірний.

· Кристалічна орієнтація

Оскільки атоми мішені легко розпилюються переважно вздовж напрямку найближчого гексагонального розташування атомів під час розпилення, тому для досягнення найвищої швидкості розпилення швидкість розпилення часто збільшують шляхом зміни кристалічної структури мішені. Кристалографічний напрямок мішені також має великий вплив на рівномірність товщини напиленої плівки. Тому отримання певної кристалічної орієнтаційної структури мішені має вирішальне значення для процесу напилення тонкої плівки.

Інструкція:

GB/T3876-83, GB/T14592-93, QJ/BHZ02.68-89

В електронній промисловості мішені для розпилення молібдену в основному використовуються в плоских дисплеях, тонкоплівкових електродах сонячних елементів і матеріалах для проводки, а також у напівпровідникових бар’єрних матеріалах. Вони засновані на високій температурі плавлення молібдену, високій електропровідності, низькому питомому опорі, дуже високій стійкості до корозії та хороших властивостях захисту навколишнього середовища. У минулому матеріали для проводки плоских дисплеїв були в основному гемороїдальними, але в міру того, як плоскі дисплеї стають більшими та точнішими, зростає потреба у матеріалах із меншим питомим опором. Крім того, необхідно враховувати захист навколишнього середовища. Молібден має перевагу лише в 1/2 питомого опору та напруги плівки, ніж у хрому, і немає проблеми забруднення навколишнього середовища, тому він став одним із бажаних матеріалів для напилення мішеней для плоских дисплеїв. Крім того, використання молібдену в РК-компонентах може значно покращити продуктивність РК-дисплеїв щодо яскравості, контрастності, кольору та терміну служби.

 

Деталі пакування: після тестування прийнятні продукти будуть упаковані відповідно до експортної упаковки або м’яким папером усередині дерев’яної коробки зовні.

 

Інформація про доставку: 3–15 робочих днів після доставки; титановий м'яч упакований з особливою ретельністю, обережністю та безпекою.

 

Ми підберемо для вас найбільш вигідний, економічний та безпечний спосіб доставки серед експрес-, авіа- та морських перевезень.

 

Перед доставкою наш клієнт отримає фотографії готової продукції, інформацію про упаковку та MTC після того, як він буде задоволений нашою пропозицією. Ми доставимо товари вчасно. зображення, які ви переглядаєте, точно відображають товар.

додати:№ 28, промисловий парк Gaoya, район Gaoxin, місто Baoji, провінція Shaanxi

 

тел.:+86 15596885501 Ліза Ян

+86 18700703333 Ельза Лін

+86 15891191413 Спенсер Сю

 

ФАКС:0917-3381186

 

Електронна пошта: lisayang@ehisen-anode.com

admin@ehisen-anode.com

wanwan@ehisen-anode.com

Популярні Мітки: спеціальна молібденова мішень, виробники, постачальники, фабрика спеціальних молібденових мішеней