Спеціальна молібденова мішень

Спеціальні молібденові мішеніце високо{0}}матеріали для напилення, розроблені спеціально для передових застосувань-осадження тонких плівок у напівпровідниковій, дисплейній, фотоелектричній та електронній промисловості. Виготовлені з високоякісної молібденової сировини та оброблені за допомогою передових технологій порошкової металургії, кування, прокатки та точної обробки, наші молібденові мішені пропонують чудову щільність, рівномірну зернисту структуру та чудові характеристики розпилення. Завдяки високій температурі плавлення (2623 градуси), чудовій теплопровідності, низькому коефіцієнту теплового розширення та видатній стійкості до корозії ці мішені забезпечують стабільне осадження. швидкість, подовжений термін служби мішені та незмінна якість плівки протягом усього процесу напилення. Висока чистота та однорідна мікроструктура допомагають мінімізувати утворення часток, покращити однорідність плівки та підвищити ефективність виробництва у вимогливих середовищах вакуумного покриття.

· чистота

Висока чистота є основною характерною вимогою для спеціальної молібденової мішені. Ефективність напиленої плівки покращується зі збільшенням чистоти молібденової мішені. Чистота звичайних молібденових мішеней має становити щонайменше 99,95% (масова частка така ж, як нижче). Однак, оскільки розмір скляних підкладок у РК-індустрії продовжує збільшуватися, потрібно збільшити довжину проводів і зменшити ширину ліній. Щоб забезпечити однорідність плівки та якість проводки, вимоги до чистоти молібденових мішеней для напилення також були відповідно підвищені. Тому, залежно від розміру скляної підкладки для напилення та середовища використання, чистота молібденової мішені для напилення повинна становити 99,99%~99,999% або навіть вище. Молібденова мішень для розпилення служить джерелом катода при розпиленні. Основними джерелами забруднення осаджених плівок є домішки в твердому тілі, а також кисень і водяна пара в порах. Крім того, в електронній промисловості іони лужних металів (Na+.K+) легко стають рухливими іонами в ізоляційному шарі, знижуючи продуктивність компонентів; такі елементи, як уран (U) і титан (Ti), можуть випускати промені, викликаючи м’яку поломку пристрою; іони заліза та нікелю призведуть до витоку межі розділу та збільшення кисневих елементів. Тому під час процесу приготування спеціальної молібденової мішені ці домішки необхідно суворо контролювати, щоб мінімізувати їх вміст у мішені.

· Щільність

Під час процесу напилення покриття, коли бомбардується менш щільна напилювана мішень, газ у внутрішніх порах мішені раптово вивільняється, спричиняючи-розмір частинок мішені або частинок розбризкування, або матеріал плівки бомбардується вторинними електронами після формування плівки. Частинки відлітають. Присутність цих частинок погіршує якість плівки. Щоб зменшити тверді сухі пори в матеріалі мішені та покращити характеристики плівки, матеріал мішені для розпилення, як правило, повинен мати вищу щільність. Для мішеней з конічним розпиленням їх відносна щільність повинна бути вище 98%.

· Прив'язка мішені та шасі

Спеціальну молібденову мішень потрібно під’єднати до шасі з -безкисневої міді (або алюмінію та інших матеріалів) перед напиленням, щоб мішень і шасі мали хорошу тепло- та електропровідність під час процесу напилення. Після зв’язування його необхідно пройти ультразвукову перевірку, щоб переконатися, що вони не з’єднані на 2%. Тільки таким чином він може відповідати вимогам природного напилення потужності, не відпадаючи.

· Розмір зерен і розподіл за розмірами

Зазвичай спеціальні молібденові мішені мають полікристалічну структуру, а розмір зерен може коливатися від мікронів до міліметрів. Експериментальні дослідження показують, що швидкість стрільби по мішенях із дрібними-розмірами зерен є швидшою, ніж по цілі-з крупнозернистими; і мішені з меншою різницею розміру зерен, розподіл товщини нанесеної плівки також більш рівномірний.

· Кристалічна орієнтація

Оскільки атоми мішені легко розпилюються переважно вздовж напрямку найближчого гексагонального розташування атомів під час розпилення, тому для досягнення найвищої швидкості розпилення швидкість розпилення часто збільшують шляхом зміни кристалічної структури мішені. Кристалографічний напрямок мішені також має великий вплив на рівномірність товщини напиленої плівки. Тому отримання певної кристалічної орієнтаційної структури мішені має вирішальне значення для процесу напилення тонкої плівки.

Інструкція:

GB/T3876-83, GB/T14592-93, QJ/BHZ02.68-89

Дисплеї з плоскими панелями (FPD)

Ідеально підходить для проводки, електродів матриці та бар’єрних шарів у TFT-LCD та OLED-екранах. У минулому матеріали для проводки плоских дисплеїв були переважно гемороїдальними, але оскільки плоскі дисплеї стають більшими та точнішими, дедалі більше потрібні матеріали з нижчим питомим імпедансом. Крім того, необхідно враховувати захист навколишнього середовища. Молібден має перевагу лише в 1/2 питомого опору та напруги плівки, ніж у хрому, і немає проблеми забруднення навколишнього середовища, тому він став одним із бажаних матеріалів для напилення мішеней для плоских-дисплеїв.

Напівпровідники та мікроелектронна упаковка

Оскільки вузли виробництва напівпровідників продовжують скорочуватися, молібден і його спеціальні сплави (наприклад, Mo-Ti та Mo-Nb) все частіше застосовуються як дифузійні бар’єри, електроди затвора, контактні металеві шари та закриваючі шари в інтегральних схемах (IC), силових напівпровідникових пристроях і MEMS. Розташований між діелектричними матеріалами та мідними або алюмінієвими з’єднувальними лініями, шар молібдену ефективно запобігає шкідливій міграції атомів і міжфазним реакціям.

Фотоелектричні й тонкоплівкові-сонячні елементи

Молібден служить загальноприйнятим шаром заднього{0}}контактного електрода в тонкоплівкових сонячних модулях -типу халькопіриту, зокрема селеніду міді-індія-галію (CIGS) і телуриду кадмію (CdTe). Як зворотний контакт напилений молібденовий шар повинен утворювати надійний омічний контакт із шаром поглинача, залишаючись хімічно інертним під час агресивної високотемпературної селенізації або сульфування.

Скло з низьким-E та інтелектуальне функціональне покриття

Широкомасштабне-вбудоване магнетронне напилення використовує чистий молібден, а також молібден-ніобій (Mo-Nb) і молібден-хром (Mo-Cr) мішені зі сплаву для модуляції теплових і оптичних характеристик сучасного архітектурного та автомобільного скла. У скляних пакетах із низьким-коефіцієнтом випромінювання (Low-E) шар молібдену діє як життєво важливий блокуючий, затравальний або жертвувальний бар’єр, призначений для захисту ультра-тонкого срібного (Ag) інфрачервоного-відбиваючого шару від окислення під час суворих високотемпературних-температур загартування скла та процедур згинання.

 

Питання: скільки триває час доставки?

Відповідь: Дискові або прямокутні мішені-стандартного розміру зазвичай доставляються протягом 2–3 тижнів. Спеціальні конфігурації, великі мішені, що обертаються, або збірки, які потребують склеювання індієм, зазвичай займають 4–5 тижнів.

З: Як ви контролюєте чистоту та якість своїх мішеней?

A: Ми керуємо якістю, починаючи з порошків сировини. Кожна партія проходить перевірку хімічного складу та аналіз розміру зерна. Кінцеві продукти отримують повний Сертифікат аналізу (COA), що містить результати тестування домішок GDMS і звіти ультразвукового тестування (UT) на структурну цілісність.

З: Чи можете ви надати мішені зі сплаву, наприклад Mo-Ti або Mo-Nb?

A: Так. Ми спеціалізуємося на двокомпонентних і багато-компонентних молібденових сплавах (наприклад, Mo-Ti 50/50 мас.%, Mo-Nb 90/10 ат.%). Наша запатентована технологія змішування порошку запобігає поділу фаз, забезпечуючи ідеально однорідний склад по всьому цільовому об’єму.

З: Чи можете ви надати зразок?

A: Звичайно, ми можемо надіслати безкоштовні зразки для вашого тесту відповідно до ваших потреб, вам потрібно лише сплатити невелику суму доставки.

З: Що таке MOQ?

A: Цей продукт є індивідуальним продуктом, який зазвичай надається відповідно до креслень. Якщо ви хочете спершу перевірити зразок, ми можемо також отримати 1 штуку відповідно до розміру запасу.

З: Які у вас сертифікати?

A: Ми володіємо ISO 9001, CE тощо. Будь ласка, зв’яжіться безпосередньо з нашим відділом продажів для отримання додаткової інформації.

 

чому обирають нас

 

 

Ехісен

 

ШеньсіEHISEN Technology Co., Ltd.є провідним виробником, який спеціалізується на-високоефективних тугоплавких металах і вдосконалених покриттях із понад 20-річним досвідом у галузі. Підтримано15+ національних патентіві суворої системи управління якістю ISO 9001 ми постачаємо-спеціально розроблені цільові матеріали більш ніж 520 клієнтам у всьому світі.

Наше--об’єднання-інтегрує весь виробничий ланцюг-від підготовки порошку сировини та пресування до спікання, прокатки, механічної обробки та склеювання опорних пластин. Оснащений передовими інструментами тестування, в тому числіGDMS(мас-спектрометрія з тліючим розрядом) для слідів домішок,Ультразвукове C-скануваннядля цілісності склеювання таМеталографічні мікроскопидля аналізу розміру зерна EHISEN гарантує 100% відстеження та елітну продуктивність для кожної відправленої партії.

 

 

 

 

Деталі пакування: після тестування прийнятні продукти будуть упаковані відповідно до експортної упаковки або м’яким папером усередині дерев’яної коробки зовні.

 

Інформація про доставку: 3–15 робочих днів після доставки; титановий м'яч упакований з особливою ретельністю, обережністю та безпекою.

 

Ми підберемо для вас найбільш вигідний, економічний та безпечний спосіб доставки серед експрес-, авіа- та морських перевезень.

 

Перед доставкою наш клієнт отримає фотографії готової продукції, інформацію про упаковку та MTC після того, як він буде задоволений нашою пропозицією. Ми доставимо товари вчасно. зображення, які ви переглядаєте, точно відображають товар.

 

 

 

Популярні Мітки: спеціальна молібденова мішень, виробники, постачальники, фабрика спеціальних молібденових мішеней